涂布設(shè)備基本技術(shù) 高精度薄膜涂布技術(shù) 模頭定位機(jī)構(gòu) 特征 采用伺服電機(jī)高精度定位 滾珠螺桿無(wú)反向間隙 沒(méi)有發(fā)生塞子式的滯后現(xiàn)象 設(shè)定精度：1μm重復(fù)再現(xiàn)精度：±0.5μm 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢 咨詢
